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低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技 术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓 度范围，但却受气体的流速所限；电子束照射技术仅有一非常窄的气体流 速范围。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范 围，其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单，吸附法要考虑吸附剂 的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度 ；联合催化法中，催化剂存在选择性，某些条件（如温度过高）会造成催化 剂失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要严格控制pH值、温度和湿 度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以 上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，并可同时消除混 合污染物（有些情况还具有协同作用），不会产生二次污染等。就经济可行 性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方 面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这 样反应体系就得以保持低温，所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费 用也很低。
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低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在 电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子 化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
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