CNF1104USG4半导体高纯气体 PSP过滤器

Gasket-Sert PSP过滤器设计用于保护半导体气体分散系统所用气体显示屏的主要部件。 • 真正的在线设计且易于安装 • 对准固定器简化安装 • 适于替代标准1⁄4英寸VCR1或1⁄4英寸UJR相容性垫片 • 可兼容各种工艺气体 • 低压差 • 全316L不锈钢结构 • 高纯氮气干燥 • 洁净室封装 • 无滞留体积 • 无超过背景的颗粒 • 不需滤壳 • 改造现有屏不需重构系统，律特霍尔可完全替代使用！ 

材料

• 滤膜和垫片：316L不锈钢

滤除精度

• ≥4μm者的效率为99.9%

工作条件

• 建议流量范围：0-28slpm/0-1scfm

• 最高工作温度：

• 惰性气体：300°C/572°F

• 无水腐蚀性气体：30°C/86°F

• 最大压差：

• 由内向外：
  690kPa@20°C/100psid@68°F

• 由外向内：
  1380kPa@20°C/200psid@68°F