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变压吸附的基本原理是依靠固体吸附剂对各组分的吸附能力不同而进行分离的。因固体吸附剂是多孔性的，当气体与之接触时，在其表面或内部将发生容纳气体的现象，称为固体对气体的吸附；已被固体吸附的原子或分子返回到气体中去，称为解吸或脱附。采用吸附剂随着压力的变化吸附量发生变化对气体进行吸附或脱附的方法称为变压吸附法。PSA制氧装置因耗能小，操作简单，在热电厂臭氧脱硝制氧机等领域都得到了广泛应用。
氧化脱硫脱硝：烟气脱硝，是指把已生成的NOX还原为N2，从而脱除烟气中的NOX。 烟气脱硝的原理是用氧化剂将NO氧化成NO2,生成的NO2再用水或碱性溶液吸收,从而实现脱硝。 传统的烟气脱硫脱硝工艺已经不能满足严格的减排要求，传统的工艺也存 在设备投资高、占地面积大等缺点，因此开发工艺简单、可靠的脱硫脱硝工艺具有重要意义。臭氧脱销无非是脱掉烟气中的NOX，烟气中NOX的主要组成部分是 NO，臭氧的高级氧化作用可以达到脱除效果，而且烟气中的其他有害气体也可以脱除。臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将NO氧化成可溶于水生成HNO2和 HNO3的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后采用Na2S 和NaOH 溶液进行吸收，最终将NOx 转化为N2达到脱除的目的，NOx 的去除率高达95%。
氧化脱硫脱硝：烟气脱硝，是指把已生成的NOX还原为N2，从而脱除烟气中的NOX。 烟气脱硝的原理是用氧化剂将NO氧化成NO2,生成的NO2再用水或碱性溶液吸收,从而实现脱硝。 传统的烟气脱硫脱硝工艺已经不能满足严格的减排要求，传统的工艺也存 在设备投资高、占地面积大等缺点，因此开发工艺简单、可靠的脱硫脱硝工艺具有重要意义。臭氧脱销无非是脱掉烟气中的NOX，烟气中NOX的主要组成部分是 NO，臭氧的高级氧化作用可以达到脱除效果，而且烟气中的其他有害气体也可以脱除。臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将NO氧化成可溶于水生成HNO2和 HNO3的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后采用Na2S 和NaOH 溶液进行吸收，最终将NOx 转化为N2达到脱除的目的，NOx 的去除率高达95%。
