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1）利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O(游离氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
2）利用高能UV光束裂解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
3）恶臭/工业废气利用排风设备引入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
UV高效光解废气净化设备采用的大功率高能紫外线发射管，光子能量分别为742 KJ/mol和647 KJ/mol。要裂解切断污染物质分子的分子键，就要使用发出比污染物质分子的结合能强的光子能。
大多数化学物质的分子结合能比170nm及184.9nm波长紫外线的光子能量低。
高分子污染物质分子键，经过高能紫外线光能的裂解及臭氧的氧化聚合作用，转变聚合成低分子无害或低害物质如H2O, CO2等。
臭氧产生的分子式：UVD→O2=O-+O+=O2+O- O2+O+→O3
污染物质分子裂解转化的过程为：
UVD→H2S=H++H-+S→H+O3 S+O3→ H2O＋SO42- UVD→CS2=C+O3S-+S++O3→CO2＋SO4 2- 例：苯分子光解机理： 苯的分子结构和分子键结合能：
苯是由氢原子(H+) 和碳原子(C)构成的。
