吸附剂经过一段时间吸附会饱和，吸附到一定的饱和度（浓缩）时必需进行脱附（解吸），将有机物从吸附剂上脱附出来，方能继续工作。脱附出来的废气流量较小，浓度较高，送往催化燃烧器催化净化。
催化燃烧法是利用催化剂来降低有机物的氧化温度（芳烃类废气，起燃温度只需280℃），提高氧化速度（仅需0.1~0.2s），使有毒的HC化合物氧化转化为无毒的CO2和H2O，因而使废气得到净化，净化率可达95~98%。催化净化后的尾气温度较高，一部分返回用于脱附，一部分排放。
吸脱附催化工作反复进行，如此完成整个废气治理任务。
